硅烷 (sih4)
| 项目名称 | 纯度指标(%) | |
| 硅烷 | ≥99.9999 | |
| 杂质含量(ppm) | 氩气(ar) | ≤0.05 |
| 氯硅烷(chlorosilane)) | ≤0.15 | |
| 乙硅烷(si2h6)) | ≤0.5 | |
| 氦气(he) | ≤1 | |
| 一氧化碳(co) | ≤0.05 | |
| 氧气(o2) | ≤0.05 | |
| 氮气(n2) | ≤1 | |
| 氢气(h2) | ≤20 | |
| 二氧化碳(co2) | ≤0.05 | |
| 甲烷(ch4) | ≤0.05 | |
| 碳(c) | ≤0.2 | |
| 二氯二氢硅(sih2cl2) | ≤0.5 | |
| 甲基硅烷(ch3si) | ≤0.5 | |
| 金属离子(metals) | ≤0.03 | |
用途:硅的外延生长、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料,太阳能电池,光导纤维,有色玻璃制造,化学气相淀积。
理化性质: 硅烷在常温常压下为具有恶臭的无色气体。在温室下着火,在空气或卤素气体中发生爆炸性燃烧。即使用其他气体稀释,如果浓度不够低,仍能自燃。硅烷在氩气中含2%,氮气中含2.5%,氢气中含1%,它仍能着火。硅烷浓度在小于1%时不燃,大于3%时自燃,1%~3%时可能燃烧。