二氯二氢硅

又名二氯硅烷,分子式SiH2Cl2,分子量101,沸点8.2℃,溶点-122.0

常温下呈液化气体,25℃液体密度1.25kg/L,极易水解,在空气中冒白烟,有盐酸气味,水分存在下有极强的腐蚀性。

比容:0.239m3/kg(21.1ºC, 101.325kPa)

CAS Registry No.:4109-96-0

应用:半导体外延和化学气相沉积工艺中的硅源气体。有机硅化合物的生产。制作大规模集成电路所必需的优质硅源