高纯硅烷

硅烷 (sih4)

项目名称		纯度指标(%)
硅烷		≥99.9999
杂质含量(ppm)	氩气(ar)	≤0.05
	氯硅烷(chlorosilane))	≤0.15
	乙硅烷(si2h6))	≤0.5
	氦气(he)	≤1
	一氧化碳(co)	≤0.05
	氧气(o2)	≤0.05
	氮气(n2)	≤1
	氢气(h2)	≤20
	二氧化碳(co2)	≤0.05
	甲烷(ch4)	≤0.05
	碳(c)	≤0.2
	二氯二氢硅(sih2cl2)	≤0.5
	甲基硅烷(ch3si)	≤0.5
	金属离子(metals)	≤0.03

包装:采用44l、47l钢瓶充装,也可根据客户需要,分装到8l的气瓶中。

用途:硅的外延生长、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料,太阳能电池,光导纤维,有色玻璃制造,化学气相淀积。

理化性质: 硅烷在常温常压下为具有恶臭的无色气体。在温室下着火,在空气或卤素气体中发生爆炸性燃烧。即使用其他气体稀释,如果浓度不够低,仍能自燃。硅烷在氩气中含2%,氮气中含2.5%,氢气中含1%,它仍能着火。硅烷浓度在小于1%时不燃,大于3%时自燃,1%~3%时可能燃烧。